 | 풀오토 본딩 NFB 시리즈 | 풀오토 본딩 NFB 시리즈는 전자동 장비로서 카세트에 웨이퍼와 세라믹 블록을 로딩 후 스타트 진행 시 전 공정을 로봇과 유닛들이 세라믹 블록에 웨이퍼를 자동으로 왁스마운팅하는 장비입니다. 이 장비는 4인치부터 8인치까지의 웨이퍼를 일정한 왁스두께 및 최소의 두께편차로 왁스본딩이 가능한 장비이며, 모든 동작을 로봇들이 진행하기 때문에 휴먼 에러 발생률을 최소화하여 높은 수율 및 빠른 생산성이 가장 큰 특징입니다. 장비의 활용 분야는 사파이어, 실리콘, 블루글라스, 스마트폰 애플리케이션을 위한 커버글라스 가공까지 모든 분야에 적용 가능합니다. |
|