기계 소개
Pl층에 플라즈마 가스 빔을 방사하여 Pl 표면 접착력을 향상시키는 공정. 플라즈마 처리
이후 엣지 슬리팅 파트 또는 검사 파트 적용 가능 Pl 표면 유기물 제거에도 용이함.
