Grade |
용도 |
특징 |
전기 전도도 (S/cm) |
Surface Resistance (≤Ω/□) |
Solid Content (%) |
pH |
MeanParticle SizeApprox. (d50) |
E421D |
In-line用 특수Tray用 |
고전도도 |
150 |
102~3 |
1.0~10.5 |
1.5~2.5 |
≤ 50nm |
230D (개발품) |
UV,열경화Film/Tray用 |
고희석용 |
230 |
102~3 |
0.9~1.2 |
1.5~2.5 |
≤100nm |
E421A |
UV,열경화Film/Tray用 |
일반형 |
40 |
105~6 |
1.0~1.5 |
1.5~2.5 |
≤100nm |
E425A |
TSP glass用 |
SI 적용 고경도 |
10 |
107~8 |
1.0~1.5 |
1.5~2.5 |
≤30nm |