분석장비

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  CSU-2 Cool Stage

  온도에 의한 시료의 훼손, 최소화를 통해 이미지 촬영

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  STEM

  전자빔을 시료에 이차원적으로 주사, 투과한 전자를 검출

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  SPT-20 이온 스퍼터 코터

  시료 표면에 전도성 물질을 코팅하는 장치

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  CP-8000 이온빔 단면 가공기

  Ar 플라즈마를 이용해 시료의 가공변화없이 단면을 식각

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  CX-200Plus 주사전자현미경 SEM

  Full-size로 사용자가 간편하게 사용가능한 SEM

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  EM-30 주사전자현미경 SEM

  100K의 배율과 20nm의 분해능을 제공

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  EM-30Plus 주사전자현미경 SEM

  5nm의 높은 분해능을 통해 최상의 이미지를 구현

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  EM-30N 주사전자현미경 SEM

  고배율에서 노이즈없이, 선명한 영상을 관찰