화공약품

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  암모니아수

  표면의 오염물질을 제거용 세정제

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  IPA

  표면의 유기물 세정 및 수분제거, 배선의 부식방지

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  질산

  장비의 세정용, 타Acid와 혼합하여 식각액으로 사용

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  초산

  세정공정에서 Uniformity를 향상시키는 완충용액

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  인산

  Silicon Nitride의 식각액, 기타 식각액

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  불산

  Silicon Oxide의 식각액으로 사용

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  메탄올

  표면의 유기물 제거 및 장비의 세척용으로 사용

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  에탄올

  장비 세척용

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  황산

  과수 등과 혼합하여 유기물 세정용으로 사용

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  과수

  표면의 오염물질 제거용 세정제, 유기물의 세정제