Product information
수소를 연료로 공급해 공기중의 산소와 반응시켜 전기와
이산화탄소, 질소, 산소를 분리,메탄을 고순도로 농축
반도체 GMP 제조공정에 필요한 Slurry를 생산장비
ACQC와 CDS가 일체 된 System
고순도 Chemical을 오염없이 안전하게 공급
Over-flow된 Chemical을 조절,농도관리
고순도Chemical을Dilution 또는 Mixing
주 배관에서 개별 장비로의 분기
농도관리
GAS 장치